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SRD 晶圆甩干机

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设备分单腔与双腔,用于 1 寸、2 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸、12 寸标准尺寸晶圆、非标准规格圆片及方片、硅晶片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、掩模版等各种半导体应用材料湿法工艺甩干。
在线客服
产品详情

功能特点

◆ 结构设计合理,工艺技术成熟

◆ 甩干效果好,工艺洁净度高

◆ 震动小,可靠性好,薄片适用

◆ 操作简单,维修方便,整机运行稳定可靠

技术参数

◆ 晶圆尺寸适用于1-12 寸生产线

◆ 碎片率万分之一

应用领域

◆ SPM 酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE 蚀刻、匀胶等各种制程工艺晶圆片甩干

设备功能

◆ 设备分单腔与双腔,用于1 寸、2 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸、12寸标准尺寸晶圆、非标准规格圆片及方片、

硅晶片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、掩模版等各种半导体应用材料湿法工艺甩干。

工艺参数

STEP

工艺

Step1

Step2

Step3

Step4

Step5

Step6

Step7

Step8

Step9

Step10

时间(s)

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

转速(r/min)

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

冲水

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

吹净

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

氮气

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

氮气加热

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

腔体加热

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

静电消除

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

厂务条件

电压

单腔功率

氮气压力

氮气流量

纯水压力

纯水流量

氮气接口

纯水接口

排水口径

排气口径

AC220V/50Hz

3KW

0.25-0.35MPa

115-180L/min

0.15-0.2MPa

5-8L/min

3/8

3/8

DN32

DN32

功能特点

◆ 无刷伺服电机驱动,保证设备稳定可靠及洁净度要求。

◆ 迷宫式氮气密封,腔内与腔外隔离,无接触式密封效果,确保工艺环境要求。

◆ 采用PTFE 气控阀组件,PVDF 管路及接头。

◆ 采用316L 不锈钢材质,表面电解抛光处理。

◆ 冲洗,吹净,吹干,烘干功能,利用高速旋转离心力,把残留附着化学试剂及颗粒尘埃甩除,

同时洁净氮气把残留颗粒尘埃带走,使产品表面洁净干燥洁净。

◆ 静电消除功能,产品高速运动时会产生静电,利用高压除静电装置使产品表面达到中和状态。

◆ 电导率监控,监控清洗水质及产品表面残留附着化学试剂及颗粒尘埃过多,不符合甩干前要

求,提示并发出警示,避免不良品进入下道工艺。

◆ 不锈钢加热器氮气加热,加热膜腔体加热,PID 温度精度控制,可选择提前预热。自动清洗

功通能选择,可设定间隔时间,确保设备始终保持洁净状态。

◆ 氮气0.003UM 过滤,确保工艺气体洁净度。

◆ 机械自复位功能,停机待机片盒朝上。

◆ 氮气压力,门密封状态,片盒朝上等条件保护。

◆ 控制单元单独控制,单独运行,操作简单,维修方便。

SRD 晶圆甩干机
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设备分单腔与双腔,用于 1 寸、2 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸、12 寸标准尺寸晶圆、非标准规格圆片及方片、硅晶片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、掩模版等各种半导体应用材料湿法工艺甩干。
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功能特点

◆ 结构设计合理,工艺技术成熟

◆ 甩干效果好,工艺洁净度高

◆ 震动小,可靠性好,薄片适用

◆ 操作简单,维修方便,整机运行稳定可靠

技术参数

◆ 晶圆尺寸适用于1-12 寸生产线

◆ 碎片率万分之一

应用领域

◆ SPM 酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE 蚀刻、匀胶等各种制程工艺晶圆片甩干

设备功能

◆ 设备分单腔与双腔,用于1 寸、2 寸、4 寸、5 寸、6 寸、8 寸、12寸标准尺寸晶圆、非标准规格圆片及方片、

硅晶片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、掩模版等各种半导体应用材料湿法工艺甩干。

工艺参数

STEP

工艺

Step1

Step2

Step3

Step4

Step5

Step6

Step7

Step8

Step9

Step10

时间(s)

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

0-999

转速(r/min)

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

0-2500

冲水

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

吹净

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

氮气

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

氮气加热

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

腔体加热

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

静电消除

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

可选

厂务条件

电压

单腔功率

氮气压力

氮气流量

纯水压力

纯水流量

氮气接口

纯水接口

排水口径

排气口径

AC220V/50Hz

3KW

0.25-0.35MPa

115-180L/min

0.15-0.2MPa

5-8L/min

3/8

3/8

DN32

DN32

功能特点

◆ 无刷伺服电机驱动,保证设备稳定可靠及洁净度要求。

◆ 迷宫式氮气密封,腔内与腔外隔离,无接触式密封效果,确保工艺环境要求。

◆ 采用PTFE 气控阀组件,PVDF 管路及接头。

◆ 采用316L 不锈钢材质,表面电解抛光处理。

◆ 冲洗,吹净,吹干,烘干功能,利用高速旋转离心力,把残留附着化学试剂及颗粒尘埃甩除,

同时洁净氮气把残留颗粒尘埃带走,使产品表面洁净干燥洁净。

◆ 静电消除功能,产品高速运动时会产生静电,利用高压除静电装置使产品表面达到中和状态。

◆ 电导率监控,监控清洗水质及产品表面残留附着化学试剂及颗粒尘埃过多,不符合甩干前要

求,提示并发出警示,避免不良品进入下道工艺。

◆ 不锈钢加热器氮气加热,加热膜腔体加热,PID 温度精度控制,可选择提前预热。自动清洗

功通能选择,可设定间隔时间,确保设备始终保持洁净状态。

◆ 氮气0.003UM 过滤,确保工艺气体洁净度。

◆ 机械自复位功能,停机待机片盒朝上。

◆ 氮气压力,门密封状态,片盒朝上等条件保护。

◆ 控制单元单独控制,单独运行,操作简单,维修方便。

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