无锡泉一科技有限公司
请输入网站标题
无锡泉一科技有限公司
    当前位置:
  • 首页>
  • 产品中心>
  • SD(水平单机/在线...>
  • 水平式甩干机

水平式甩干机

分享到微信

×
采用 PLC 智能控制,使所有的操作可靠,程序智能化。
在线客服
产品详情

功能特点

◆ 结构设计合理,技术成熟

◆ 操作简单,维修方便,整机运行稳定可靠

技术参数

◆ 晶圆尺寸适用于2-12 寸生产线

◆ 碎片率万分之一

应用领域

◆ SPM 酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE 蚀刻、匀胶等各种制程工艺晶圆片甩干

设备功能

◆ 设备分2工位、4工位与6工位,可清洗2-12 寸硅片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、半导体、LED、太阳

能等湿法工艺甩干旋干,实现包括清洗、甩干、氮气烘干、工作腔干燥。

工艺参数

工艺参数

时间

转速

冲洗(B 型)

0-999s

0-800r/min

吹净(B 型)

0-999s

0-800r/min

甩干一(B型)

0-999s

0-800r/min

甩干二(B 型)

0-999s

0-800r/min

厂务条件

电压

单腔功率

氮气压力

氮气流量

纯水压力

纯水流量

氮气接口

纯水接口

排水口径

排气口径

AC380V/50Hz

5KW

0.25-0.4MPa

180-250L/min

0.2-0.3MPa

7-12L/min

3/8

3/8

DN32

DN110

功能特点

◆ 采用PLC 智能控制,使所有的操作可靠,程序智能化。

◆ 采用变频电机皮带传动,低维护。

◆ 转轴氮气密封,迷宫式设计,保证设备运行时腔内与外部环境隔离。

◆ PTFE 气控阀,洁净管件。

◆ 主要部件采用质不锈钢SUS304 材料。内部框架采用国标不锈方钢,耐腐蚀,耐锈蚀。外

观设计新颖、人性化设计,操作方便简单。

◆ 旋转机构经精密的动平衡校验,主框架采用承载式结构,保证系统工作时平衡、稳定、减

少振源的产生,大幅度降低碎片率。

◆ 盖顶采用进口硅胶加热辅助系统,烘干后干燥无滴水。

◆ 采用电加热系统,升温快,易控制,温度稳定。

水平式甩干机
水平式甩干机

水平式甩干机

分享到微信

×
采用 PLC 智能控制,使所有的操作可靠,程序智能化。
13961827663
在线客服
产品详情

功能特点

◆ 结构设计合理,技术成熟

◆ 操作简单,维修方便,整机运行稳定可靠

技术参数

◆ 晶圆尺寸适用于2-12 寸生产线

◆ 碎片率万分之一

应用领域

◆ SPM 酸清洗、有机清洗、显影、去胶、ITO蚀刻、BOE 蚀刻、匀胶等各种制程工艺晶圆片甩干

设备功能

◆ 设备分2工位、4工位与6工位,可清洗2-12 寸硅片、氮化钾、砷化镓、蓝宝石、半导体、LED、太阳

能等湿法工艺甩干旋干,实现包括清洗、甩干、氮气烘干、工作腔干燥。

工艺参数

工艺参数

时间

转速

冲洗(B 型)

0-999s

0-800r/min

吹净(B 型)

0-999s

0-800r/min

甩干一(B型)

0-999s

0-800r/min

甩干二(B 型)

0-999s

0-800r/min

厂务条件

电压

单腔功率

氮气压力

氮气流量

纯水压力

纯水流量

氮气接口

纯水接口

排水口径

排气口径

AC380V/50Hz

5KW

0.25-0.4MPa

180-250L/min

0.2-0.3MPa

7-12L/min

3/8

3/8

DN32

DN110

功能特点

◆ 采用PLC 智能控制,使所有的操作可靠,程序智能化。

◆ 采用变频电机皮带传动,低维护。

◆ 转轴氮气密封,迷宫式设计,保证设备运行时腔内与外部环境隔离。

◆ PTFE 气控阀,洁净管件。

◆ 主要部件采用质不锈钢SUS304 材料。内部框架采用国标不锈方钢,耐腐蚀,耐锈蚀。外

观设计新颖、人性化设计,操作方便简单。

◆ 旋转机构经精密的动平衡校验,主框架采用承载式结构,保证系统工作时平衡、稳定、减

少振源的产生,大幅度降低碎片率。

◆ 盖顶采用进口硅胶加热辅助系统,烘干后干燥无滴水。

◆ 采用电加热系统,升温快,易控制,温度稳定。

相关产品

RELATED PRODUCTS

选择区号
链接亚洲精品链接链接链接链接